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収録内容
| 1 | 第1章 無機膜の製造プロセス(PVD法 |
| 2 | CVD法 ほか) |
| 3 | 第2章 無機膜の製造装置技術(最新のフィルムコンデンサー用巻取蒸着装置 |
| 4 | 反応性プラズマ蒸着装置 ほか) |
| 5 | 第3章 無機膜の物性評価技術(薄膜の組成と構造 |
| 6 | 薄膜の密着力および内部応力 ほか) |
| 7 | 第4章 無機膜の最新応用技術(工具・金型分野への応用 |
| 8 | シリサイド系半導体薄膜の発光/受光デバイスへの応用 ほか) |
| 9 | 第5章 最新のトピックス(熱線反射膜と製品 |
| 10 | プラスチックフィルムのガスバリア膜 ほか) |
