本/雑誌
ナノインプリント技術
松井真二/編著 平井義彦/編著 電子情報通信学会/編
4840円
ポイント | 1% (48p) |
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発売日 | 2014/03/16 発売 |
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商品説明
ナノインプリントの基礎とともに現状で最新のナノインプリント装置と関連部材、多様なデバイス応用についてわかりやすく解説。実際にナノインプリント技術に取り組む際に参考になる最新の研究成果を網羅している。
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収録内容
1 | ナノインプリントと微細加工 |
2 | ナノインプリントの物理化学とシミュレーション |
3 | 熱ナノインプリント |
4 | UVナノインプリント |
5 | 室温ナノインプリント |
6 | モールド技術 |
7 | 離型技術 |
8 | 装置技術 |
9 | 3次元化・積層技術 |
10 | ナノ光学応用〔ほか〕 |