本/雑誌
小さなものをつくるためのナノ/サブミクロン評価法 μmからnm寸法のものをつくるための材料,物性,形状,機能の評価法
肥後矢吉/編著 谷川紘/共著 鈴木健一郎/共著 磯野吉正/共著 荻博次/共著 土屋智由/共著 石山千恵美/共著
3300円
| ポイント | 1% (33p) |
|---|---|
| 発売日 | 2015年06月発売 |
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収録内容
| 1 | 1 シミュレーション |
| 2 | 2 薄膜の弾性定数の精密計測法 |
| 3 | 3 微小材料や薄膜の材料強度評価法 |
| 4 | 4 3次元マイクロ構造体の形状計測法および信頼性評価 |
| 5 | 5 動特性計測:微細なものの動的変形と振動評価 |
| 6 | 6 微細なものの接着・接合強度評価 |
