本/雑誌
これからのMEMS LSIとの融合
江刺正喜/共著 小野崇人/共著
2860円
| ポイント | 1% (28p) |
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| 発売日 | 2016年06月発売 |
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商品説明
MEMSはシーズからニーズの時代へ。これまで不可能とされた「ヘテロ集積化技術」を中心に、MEMSの今後の開発促進や有効利用をMEMS研究の世界的権威が解説する待望の一冊。「はじめてのMEMS」続編。
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収録内容
| 1 | 第1章 ヘテロ集積化(MEMSとLSIの融合) |
| 2 | 第2章 次世代携帯機器 |
| 3 | 第3章 センサネットワーク・高機能センサ |
| 4 | 第4章 光マイクロシステム |
| 5 | 第5章 バイオ・医療用マイクロシステム |
| 6 | 第6章 製造・検査装置 |
| 7 | 第7章 高度化と有効活用への道 |
