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商品説明
シリコンが半導体になる製造工程を俯瞰。半導体製造工程の流れが図解でよくわかる。
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収録内容
1 | 半導体製造プロセス全体像 |
2 | 前工程の概要 |
3 | 洗浄・乾燥ウェットプロセス |
4 | イオン注入・熱処理プロセス |
5 | リソグラフィプロセス |
6 | エッチングプロセス |
7 | 成膜プロセス |
8 | 平坦化(CMP)プロセス |
9 | CMOSプロセスフロー |
10 | 後工程プロセスの概要 |
11 | 後工程の動向 |
12 | 半導体プロセスの最近の動向 |