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商品説明
ナノサイズの素子を作るためのキーテクノロジーである放電プラズマ。その各装置と応用の両面での参考書。
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収録内容
| 1 | 第1章 放電・プラズマの概要(放電・プラズマとは |
| 2 | 高度情報化社会を支える放電技術 ほか) |
| 3 | 第2章 物質の構成要素と気体(物質の最小微粒子 |
| 4 | 電子の3つの顔 ほか) |
| 5 | 第3章 放電プラズマの基礎(電子と分子の衝突 |
| 6 | 放電開始 ほか) |
| 7 | 第4章 放電プラズマ直接応用(スパッタ薄膜 |
| 8 | プラズマCVD ほか) |
| 9 | 第5章 プラズマ・プロセス応用(垂直磁気記録 |
| 10 | 超LSI ほか) |
