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収録内容
| 1 | 第1章 薄膜作製技術の歴史と意義 |
| 2 | 第2章 計算化学による結晶成長制御手法 |
| 3 | 第3章 常圧プラズマCVD技術とその応用 |
| 4 | 第4章 ラダー電極を用いたVHFプラズマ応用薄膜形成技術 |
| 5 | 第5章 触媒化学気相堆積法とその応用 |
| 6 | 第6章 コンビナトリアルテクノロジー-集積化薄膜技術による材料開発の革新 |
| 7 | 第7章 パルスパワー技術と応用 |
| 8 | 第8章 半導体薄膜の作製 |
| 9 | 第9章 ナノ構造磁性薄膜の作製とスピントロニクスへの応用 |
| 10 | 第10章 強誘電体薄膜の作製とメモリ素子への応用 |
